以下是干式激光加工中常用的仪器设备清单及简要说明：
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### 一、核心加工设备
1. **激光发生器**
- **类型**：CO₂激光器、光纤激光器、紫外激光器等（根据材料和应用选择）。
- **功能**：产生高能激光束，用于切割、雕刻、打标或焊接。
2. **光学系统**
- **组件**：反射镜、聚焦透镜、振镜（用于激光束引导和聚焦）。
- **作用**：调控激光路径、聚焦能量至加工区域。
3. **数控系统（CNC）**
- **组成**：运动控制卡、伺服电机、导轨。
- **功能**：控制加工路径、速度和精度（如XYZ轴联动）。
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### 二、辅助设备
1. **气体辅助系统**
- **组件**：空压机或气瓶（惰性气体如氮气/压缩空气）、喷嘴。
- **用途**：吹除加工产生的碎屑或熔渣，防止材料氧化（部分工艺需惰性气体保护）。
2. **冷却系统**
- **干式冷却方案**：风冷散热器或半导体冷却装置（避免液体冷却剂）。
- **作用**：维持激光器和光学元件的工作温度。
3. **排烟除尘装置**
- **设备**：抽风机、过滤系统（HEPA/活性炭）。
- **功能**：清除加工产生的烟雾和粉尘，保障环境安全。
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### 三、检测与校准设备
1. **定位传感器**
- **类型**：CCD摄像头、红外传感器。
- **用途**：工件定位和加工过程实时监测。
2. **功率监测仪**
- **作用**：检测激光输出功率稳定性，确保加工一致性。
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### 四、安全防护设备
1. **防护外壳**
- **材质**：金属或高分子材料，配备安全联锁开关。
- **功能**：隔离激光辐射，防止误操作。
2. **个人防护装备**
- **必备品**：激光防护眼镜、防尘口罩。
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### 五、其他配套设备
- **工作台/夹具**：固定工件并适配不同尺寸。
- **电源系统**：稳压电源或UPS（保障设备稳定运行）。
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**备注**：具体配置需根据加工材料（金属/非金属）、精度要求和工艺类型（切割/打标/焊接）调整。